低调崛起的韩国半导体设备( 二 )

与此同时， SK海力士也保持着保守的投资立场， 2018年在半导体设施上投资17.38万亿韩元， 2019年减少至12.747万亿韩元， 2020年减少至9.89万亿韩元， 2021年增加至13.4万亿韩元。据KiwoomSecurities称， SK海力士今年的设施投资预计将比上年增加47% ，达到17万亿韩元。
据韩国经济新闻网报道， SK集团决定在半导体、电动汽车电池、绿色能源、生物技术等4大领域向美国投资290亿美元。其中， 150亿美元将用于半导体领域， SK集团的半导体子公司SK海力士计划在美国建设存储器半导体尖端封装制造设备和研发(R&D)中心。
崭露头角的韩国半导体设备厂商经过3年的研发和投入，今年第一季度韩国设备销售额以51.5亿美元（约合64.452亿韩元）排名全球第二。
从半导体设备工艺发展来说，目前在前道设备方面，韩国设备厂商的技术处于生产核心的蚀刻、清洗和沉积工艺的60-80%水平，用于沉积工艺的热处理设备在全球市场上具有竞争力，但曝光设备、离子注入设备和测量分析设备技术基础薄弱。而在后道设备领域，韩国设备厂商总体处于竞争水平。韩国产业技术评价与企划院表示，这是因为由于技术差距和投资成本负担，韩国公司已将注意力集中在进入门槛相对较低的工艺上。
这一点，可以从日前半导体综研整理的韩国半导体前道设备供应商名单，以及韩国产业技术评价与企划院韩国半导体材料技术水平及国产化率窥知一二。

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韩国半导体前道设备供应商名单图源：半导体综研

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按主要半导体工艺、国内技术水平、国产化率划分的设备制造商（单位：%）译自：韩国产业技术评价与规划研究所制图：半导体行业观察
从上述两张图可以看出，韩国半导体前道设备厂商主要集中在沉积、热处理领域，相对于光刻曝光、离子注入，以及测量、分析设备，沉积、热处理和平整化设备国产化率较高。
在半导体狂热的2021年，韩国设备厂商也取得不菲的成绩，据韩媒TheElec去年8月对韩国国内31家半导体设备公司第二季度业绩的分析，季度销售额超过1000亿韩元的设备厂商从2020年的5家增加到2021年的9家，包括SEMES、WonikIPS、SFA、KC、APSystems、PSK、EOTechnics、HanmiSemiconductor和TES 。销售额增长超过三位数的五家公司是YIK、NewPowerPlasma、JusungEngineering、IntekPlus和Exicon 。这里笔者简单介绍几家韩国设备厂商：
SEMES成立于1993年，是三星电子旗下的一家半导体设备供应商，同时也是韩国最大的设备制造商，生产核心半导体和显示器设备，连续6年进入世界装备行业TOP10 ，目标是到2030年销售额达到5万亿韩元，进入全球TOP5 。目前， Semes的产品主要包括半导体前道工序领域的清洗（LOTUS、BLUEICEPRIME）、Phototrack（OMEGA-S、OMEGA-K）、蚀刻（MichelanO3、MichelanC4）设备，还有后道工序的Bonder、Probe、TestHandler等设备。
据TheElec报道，三星电子的芯片制造设备子公司Semes周五表示，其2021年全年的收入为3.12万亿韩元，营业利润为3533亿韩元。据BusinessKorea去年4月报道， SEMES正计划建造一座新的研发中心，旨在帮助三星在半导体设备领域实现独立。
WonikIPS成立于1991年，主要提供等离子化学气相沉积（PECVD）设备。 2020年10月， WonikIPS首次量产了新型金属CVD设备“NOA” ，并向SK海力士青州M15供应， WonikIPS的此次量产实现了韩国装备行业以往从未商业化的金属CVD设备的韩国国产化。 2021年9月， WonikIPS用于QD显示的干式蚀刻设备获得了三星显示认可。