当前 ， 7nm以及更先进芯片制造有赖于ASML的EUV光刻机才能实现 ， 最新款单价高达1.5亿美元 ， 包含10万个部件和长达2公里的布线 。
这么一台设备除了价格昂贵、零件繁多、造型庞大等 ， 耗电能力同样不容小觑 。
据媒体披露 ， 当前ASML最新一代EUV光刻机的额定功耗是100万瓦 ， 约是前几代设备的10倍 。仅台积电就拥有超过80台EUV光刻机 ， 粗算之下 ， 开机一天的耗电量高达上百万度 。
类似地 ， 三星在韩国的6个半导体制造基地去年的总能耗占到集团的3% ， 未来更多EUV光刻机进厂部署后 ， 这个数字还可能继续提高 。
对于芯片制造行业的高耗能问题 ， 业内认为 ， 切换能源类型势在必行 ， 也就是让可再生能源发电的比例提高 。
【阿斯麦|ASML EUV光刻机被批“电老虎”：功耗100万瓦 是上代10倍】
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