由于从硅片上切割出圆形芯片并非易事,同时也会造成对边角量的大量浪费,因而将芯片做成矩形,会使边角量浪费最少 。
晶圆是圆形,也是为了控制成本 。经由直拉法(CZ 法)或悬浮区熔法(FZ 法)所制作出的硅棒是圆柱,圆形也最方便打磨,浪费最少 。
另外,同对角线长度下圆形面积更大,无论怎么划分大小,圆形最后分切出来的芯片一定比方形的多或相等 。
圆形硅片还与后续的光刻等工艺不谋而合,而如果选择方形,光刻胶旋涂的均匀性会成问题,易导致更多的浪费,在圆形硅片上做矩形芯片反而很“般配” 。
当然,虽然已经非常节约,但硅片边缘内侧区域还是会存在浪费 。
如何尽可能地减小浪费呢?这就需要用到高数知识——微积分 。
只要晶圆足够大,芯片足够小,拼起来的边缘就会逐渐向圆形逼近了,这就是数学的力量 。
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不同尺寸硅片的芯片分布,图片来源:Photography Stack Exchange
诸如电脑 CPU 这样的芯片,每一枚的成本都不菲,厂商自然会选择用一次流程制作足够多的芯片的形式,以保证足够的良品率 。
如果选择小尺寸硅片制作高端芯片,成本可以说是他们“无法承受之重”了 。
在我国,高端芯片所使用的 12 英寸硅片的制造产业发达吗?
我们先看看全球硅片市场 。根据 SEMI 数据统计,全球硅片前五大制造厂商(CR5)市场占有率高达 92% 。
其中,日本信越化学占比 28%,为全球第一大硅片制造商;日本 SUMCO 占比 24%,排名第二;其余厂商依次为中国台湾环球晶圆、德国 Silitronic、韩国 SK Siltron 。
这些厂家主要制造主流的 12 英寸和 8 英寸硅片,甚至已经开始研究 18 英寸硅片的量产和成本控制 。
这么看来,现在只剩下 8% 的份额可供全球其他硅片厂商抢夺,中国大陆便是其中之一 。
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全球硅片制造市场份额,图片来源:SEMI
在我国大陆的硅片领域中,6 英寸的国产率超过 50%,已经能够做到自给自足 。8 英寸国产率约 10%-15%,相对比较欠缺,而 12 英寸基本是一片空白,市占率只有 1% 。
因此,8 英寸、12 英寸等大尺寸的硅片领域,可以说是我们的“短板” 。没有大尺寸的硅片,高性能芯片的出现则更是难上加难 。
为什么做出大尺寸硅片这么难?
可能你会感到奇怪,不就是大一点的硅片吗?流程相同,为什么中国能做 6 英寸硅片却做不出 12 英寸硅片呢?
要回答这个问题,还需要回到硅片的制作流程中来考虑 。
硅棒的制作采用 CZ 直拉法,它需要将多晶硅熔化在石英锅内,再把硅棒从岩浆中拉出来 。
想要制作 12 英寸的硅棒,需要一口直径达到 32 英寸的大锅,并且是一口无比纯净,几乎不含杂质的石英锅,打造这样一口纯净的石英锅,其本身就是一门技术活 。
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图片来源:Silicon Wafer Production 模拟动画
此外,制作的硅棒越粗,锅里的岩浆也要多很多,这对提拉过程中的温度、提拉速度、旋转速度和提拉时间都提出了更高的要求 。
同时,还需要处理随之而来的一系列问题,例如岩浆对流和温度梯度等物理问题 。
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