半导体|芯片国产化深度报告！设备、零部件、材料纷纷走上快车道

从长江存储的中标信息看，截至 2021 年底，长江存储共招标刻蚀设备 452 台，其中 Lam236 台， TEL 61 台，中微公司 59 台，应用材料 38 台，北方华创 26 台， SCREEN 13 台，屹唐半导体 11 台。北方华创在刻蚀领域布局集中于硅刻蚀，设备品类对标 Lam ，仍具有较大潜力空间。
以 Lam Research 为例，在长江存储的 Nand Flash 产线上，仅仅刻蚀机一个品类，供应的设备量接近 40 种不同工艺环节，其中多数工艺环节设备具有独占性，尤其是刻蚀高深宽比的深孔、深沟等环节工艺。中微公司刻蚀设备种类范围较多，主要布局介质刻蚀领域，北方华创在刻蚀领域布局集中于硅刻蚀，设备品类对标 Lam ，仍具有较大潜力空间。

▲Lam Research、北方华创、中微公司中标长江存储的刻蚀机台种类及数量（台）
华虹无锡 2022 年上半年招标薄膜沉积设备 60 台，其中应用材料 26 台， Lam 中标 26 台，北方华创中标 3 台，拓荆科技 3 台， ASM America 2 台。北方华创中标的 3 台具体为 PVD（钛、氮化钛、氮化钽和铝铜）1 台、金属氮化钛溅射掩膜层设备 2 台；拓荆科技中标的 3 台均为 PECVD 设备，分别是 PECVD（后段以硅烷作反应物的二氧化硅）2 台以及 PECVD（后段以硅烷作反应物的氮化硅）1 台。
积塔 2022H1 招标刻蚀设备 55 台，其中 TEL 13 台，拓荆科技 11 台，应用材料 7 台， ASM 7 台，北方华创 6 台，中国台湾旭宇腾 6 台， Lam 3 台。拓荆科技中标的 11 台PECVD 设备分别为 8 台二氧化硅/氮化硅/氟化硅/氮氧化硅 PECVD 及 3 台二氧化硅PECVD；北方华创中标的 6 台设备包括 5 台铝铜金属溅射、厚铝铜金属溅射设备。
长江存储截至 2021 年底共招标薄膜沉积设备 779 台，其中 TEL 212 台，应用材料 181台， Lam 177 台，日本国际计测器株式会社（KOKUSAI）150 台，日立国际电气 20 台，拓荆科技 18 台，北方华创 15 台，ASM 5 台。
根据招标网的数据统计，华虹无锡 2022 年上半年招标化学机械抛光设备 15 台，其中应用材料中标 12 台，华海清科中标 3 台。应用材料中标的 10 台具体为铜金属层化学机械抛光设备 7 台，浅沟槽绝缘氧化膜化学机械抛光设备 2 台，多晶硅膜化学机械抛光设备2 台，硅化学机械抛光设备 1 台；华海清科分别中标铜金属层化学机械抛光设备 2 台，钨金属层化学机械抛光设备 1 台。
积塔半导体 2022 年 1-5 月招标的化学机械抛光设备总共 6 台，其中华海清科 5 台，应用材料 1 台。华海清科中标的 4 台为钨金属层化学机械抛光设备， 1 台为二氧化硅化学机械抛光设备。应用材料中标了 1 台铜金属层化学剂型抛光设备。
长江存储截至 2021 年底共招标化学机械抛光设备 112 台，其中华海清科中标 34 台，应用材料中标 73 台。分具体产品来看，华海清科中标的设备中，氧化硅化学机械抛光机 9台，层间介质层化学机械抛光机 6 台，晶圆硅面化学机械抛光机 6 台。应用材料中标的设备包括铜化学机械抛光机 23 台，前段钨化学机械抛光机 16 台等。
根据招标网的数据统计，华虹无锡 2022 年上半年招标清洗/去胶设备 45 台，其中SCREEN中标 15 台，盛美半导体中标 10 台，屹唐半导体中标 8 台， Lam 中标 6 台， TEL 中标 5台，至纯科技中标 1 台。盛美半导体中标的 10 台设备种类较为丰富，包括铜线聚合体剥离设备、光刻胶剥离设备等，屹唐半导体 8 台设备均为等离子去胶机，至纯科技中标的1 台设备为后段挡控片清洗设备。
华虹无锡 2022 年上半年招标涂胶显影设备 9 台，均采购于 TEL ，包括 ArF 涂胶显影机 2 台， KrF 涂胶显影机 2 台， I 线涂胶显影机 3 台，聚酰亚胺涂胶显影机及涂胶机 2 台。长江存储截至 2021 年底共招标涂胶显影设备 45台，其中 TEL 4 台， SCREEN 1 台。积塔 2022H1 招标涂胶显影设备 12 台，其中 TEL 3台，芯源微中标 2 台，分别为抗反射层涂胶机和聚合物涂胶显影机，上海向盈中标 4 台紫外线烘烤机，合肥开悦中标了 2 台涂胶显影机。

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